新闻中心
产品展示
手 机:13373179378 手 机:15128718320 联系人:武经理
网 址:www.btyclj.com 
地 址:河北省沧州市泊头市交河镇建设街

大行程超精密工作台关键技术研究

发布时间:2019-07-24  发布者:亿创量具

超精密定位技术已成为精密工程领域的关键技术之一,微型机电系统的制造与检测、大规模集成电路的生产、超精密机械加工及其精密测量,都离不开超精密定位技术。高精度和高分辨率的精密微位移工作台系统的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。精密微位移工作台系统的定位精度和行程范围直接影响到生产加工的精度。同时,工作台的速度、加速度及启停过程的稳定时间则影响到设备的效率,成为系统的重要指标。

按精度高低和行程大小精密及超精密微进给工作台系统可以分为两类:小行程、极高精度的工作台系统和大行程、高精度的工作台系统。小行程极高精度工作台大多采用压电元件或电磁元件作为驱动装置。行程多在数十微米的范围内,但位移分辨率可高达1nm。大行程高精度工作台是指行程达毫米级以上,但定位精度略低于小行程系统的工作台系统。大行程超精密工作台主要的类型有直线电机驱动、摩擦驱动式,也有采用两级进给的方式,即采用粗动与精动两套系统,以同时兼顾大行程、高的响应速度和高定位精度。其中大行程超精密微进给工作台在制造业中有非常重要的意义和实用价值。因此世界各制造强国都非常重视大行程超精密微进给工作台的研制。

大理石平台在已研制的精密及超精密工作台中,往往只追求某个性能指标,其整体性能存在缺陷,如工作台运动性能的高精度与运行速度往往不能兼顾,精度越高,系统的分辨率越高,当运行速度提高到一定程度时,传感器的信号频率将超过控制系统的采样频率。因此高精度高速度的微进给平台的控制系统具有高的采样频率和极短的工作周期。这样的控制系统的对软硬件的要求都极高,势必造成很大的技术难度或高昂的成本。

由于精密及超精密微进给平台的定位精度和分辨率多在亚微米级,工作环境的影响不容忽视。温度的变化直接影响平台的定位精度,环境的振动影响系统的稳定性,温度与湿度的变化影响传感器的精度。因此精密及超精密微进给平台的工作环境要求极高,对温度及湿度的变化一般控制到20±0.1℃和湿度60±5%以内,高精度的平台则要求控制到温度变化20±0.01℃以内。而恒温车间的建造价格极高,为达到极小的温度变化,多采用多级恒温车间嵌套的措施,加增加了建设成本。同时空调等设备的运行费用也不可忽视。

这些因素使得精密及超精密微进给平台在正常的工业环境中应用受到了很大的制约。因此有提出一种新的设计观念,从一开始就综合考虑车间工作环境建造成本、运行费用、使用要求、工作台技术指标、制造成本等技术经济因素,通过新材料和新的控制技术在精密及超精密微进给平台中的应用,降低微进给平台对使用环境的要求和整个生命周期的研制使用费用,提高精密及超精密微进给平台的综合性能。这对精密及超精密平台的推广应用,提高我国的制造业水平有着重要的意义。

大理石机械构件使用前,确保大理石机械构件调试水平,然后用清洁的软布抹干和擦亮(或用粘酒精棉布将板面擦拭干净)。保持大理石平板台面的清洁,以防止影响测量精度。使用大理石机械构件时候的操作细节吧!

1、将待测工件和相关测量工具放置于平板上35分钟待温度适应后便可测量。

2、移动大理石机械构件位置时,需重新调试水平度。

3、使用完结后,为防止大理石机械构件整体变形,要将工件从机械构件上拿下,避免工件长时间对大理石平板重压,造成大理石机械构件的变形。

4、工件应缓慢放在大理石机械构件上,大理石机械构件使用时。避免大理机械构件受到撞击,造成机械构件的变形及损坏。

5、工件的重量不可超过平板的额定载荷,否则会降低工作,还有可能损坏平板的结构,造成平板的变形,无法使用。

6、使用过程中,要轻拿轻放大理石机械构件上的工件,不要在机械构件上挪动比较粗糙的工件,以免对机械构件表面造成磕碰,划伤等损坏。

7、要实时将机械构件洗净,大理石机械构件不用时。然后将机械构件表面及表面的所有钢件涂上一层防锈油,并用防锈纸盖上,用大理石机械构件的外包装盖好,以防止平时不注意造成对大理石平板的损坏。

8、大理石机械构件应安放在噪音小、灰尘少、无振动、温度稳定、干燥通风的环境中使用。

9、反复测量同一工件精度时,应选在温度稳定的同一时段。

10、请勿在大理石机械构件上放置其他物品,请勿敲击、碰撞大理石机械构件,洗涤剂选用浓度75%乙醇专用酒精。忌使用有强烈腐蚀的液体做为洗涤剂。

11、每次使用之后相应清理干净上面可能留下的杂物;将板面擦拭干净(可以用中性清洁剂进行清理)并盖上防护罩。


版权所有 Copyright © 2019-2020 泊头市亿创量具制造有限公司 联系人:武经理 手 机:13373179378 15128718320
地 址:河北省沧州市泊头市交河镇建设街 网址:www.btyclj.com 冀ICP备19007440号-1