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超精密平台的关键技术及调试方法

发布时间:2019-07-31  发布者:亿创量具
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  • 超精密进给平台结构材料的选择先要降低环境的影响,其次是提高进给平台的动态性能。如现在日本已经开始大量应用工程陶瓷材料作为工作台的结构材料,而不再是传统的钢材,殷钢或花岗岩。因此迫切需要寻找一种新结构材料来降低对工作环境的要求,提高工作台动态性能。

    超精密进给平台的关键技术包括:高精度导轨技术、先进驱动技术、超精密测量技术、先进控制方法等。其中高精度导轨技术是一项非常重要的基础技术。目前空气静压导轨因其精度高,清洁等特点,在已研制的超精密平台中广泛应用。而空气静压导轨中,多孔质节流器以其承载能力大,刚度高等特点被广泛应用,但国内对其理论分析,制造方法等研究较少,迫切需要进一步对其进行分析研究。空气静压导轨由于气膜小,大理石平台对设计制造的要求较高,目前还没有系统的设计方法指导其设计制造,因此迫切需要对其进行研究。

    直线电机和旋转伺服电机相比,伺服控制的难度大,要求高。直线电机在使用中存在各种扰动,由于没有中间传动环节,这些扰动会直接作用在运动部件上,需要解决使用何种控制方法能取得较好的控制效果。

    因此本文主要从以下几个方面展开研究:

    1)超精密进给平台的结构材料研究;

    2)多孔质气体润滑技术研究;

    3)空气静压导轨设计方法研究;

    4)直接驱动控制技术研究。

    花岗石经长期时效,内应力消失,材质稳定,不会变形。那么花岗石机械构件有什么特点呢?又需要怎么维护呢?

    花岗石机械构件的特点:

    抗磨蚀,耐高温,维护。

    物理性稳定,组织缜密,受撞击晶粒脱落,表面不起毛边,不影响其平面精度花岗石精密测量平板。

    花岗石机械构件的工作表面在使用中保养维护简便,材质稳定,能够保证长期不变形,线膨胀系数小,机械精度高,防锈、防磁、绝缘。

    不变形,硬度高,耐磨性强。

    花岗石机械构件适用於现场的工作环境, 并高度恒久长期保有产品本身精度的特性,能确定工作环境中加工与检测的精度与工作产品品质! 特别是用於高精度的测量方面。

    花岗石机械构件的维护:

    避免花岗石机械构件受到撞击,造成平台的变形及损坏。工件的重量不可超过平板的额定载荷,否则会降低工作质量,还有可能损坏平板的结构,造成平板的变形,无法使用。要轻拿轻放。使用过程中。不要在平台上挪动比较粗糙的工件,以免对平台表面造成磕碰,划伤等损坏。 做好使用工具的日常保养是每个行业应该都具备的一项基本素质,这样既可以保障生产效率性,同时也可以提高器具的使用时间和寿命,提高它们的实际利用率。

    大理石平台误差以及调试方法。

    一、产生的误差。

    加工误差:尺寸误差;宏观几何形状误差;相互位置误差;表面粗糙度。

    公差:控制几何参数的技术规定就称";公差";,即为实际参数值所允许的较大变动量。

    误差在加工过程中产生,公差由设计人员确定。公差是误差的较大允许值。

    二、大理石平台的调平步骤。

    1、将大理石平台平放于地面,手感调整四角稳定性,微调活动地脚,直到稳定。

    2、将大理石平台放置在支架上,调整其支点位置,尽量接近中心对称。

    3、初调各支脚,使各支点均匀受力。

    4、用水平测量仪器,通常使用水平尺或电子水平仪检测大理石平台水平状况、微调相关支点,直到符合水平位置。

    5、初调合格后,静置12小时后,进行复制,如不合格需进行再次调整,如合格方可使用。

    6、大理石平台使用后根据实际实地环境周期性检测维护。


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